| краткая информация = Зав. лабораторией “Функциональной и физической микроэлектроники” Центра физики наногетероструктур Физико-технического института им. А.Ф.Иоффе РАСпециалист по микроэлектронике, главный редактор научно-образовательного журнала “Окно в микромир”нанолитографии